1.好的磨料通常应具备三个条件:
一是有足够的硬度;
二是良好的几何形状,棱角锋利;
三是良好的粒度组成。
粒度分布及形状是磨料的重要物理特性参数,直接影响产品的工艺性能和使用情况。因此磨料的粒度分布及形状的测定,成为保证产品质量和开发新产品的重要手段。
目前磨料的检测缺乏手段,质量标准模糊。只有尺寸标准,没有磨削力和耐磨性标准,从而使即便是同一型号的磨料产品,不同厂家的产品在粒度分布上也有差别。
9Spsm--M-120磨料颗粒图像分析仪是目前唯一能够同时测量颗粒粒度、形状的粒度分析仪器。
2.在半导体晶片切割与抛光中使用的研磨浆的颗粒粒度及形状,是确保高效研磨与产品质量的关键。良好的颗粒形状能够提高研磨效率,良好的粒度组成能够确保不会造成划伤。而且为了降低研磨浆的使用成本,意味着必须对其进行严格监测,以便在最佳时间更换。
9Spsm--M-120磨料颗粒图像分析仪适用于金刚石、棕刚玉、白刚玉、单晶刚玉、石榴石、碳化硅(黑碳化硅、绿碳化硅、立方碳化硅、铈碳化硅)等材料的粒度大小及形状特征观察和测量。
9Spsm--M-120磨料颗粒图像分析仪采用静态图像分析技术测量颗粒粒度及粒形。
自定义SOP分析和一键式通用分析提高结果可重复性,和一致性,大幅提高分析效率。
质量卓越的显微图像保证准确表征
直观强大的软件界面可使您更容易地对数据进行直观判定与统计分析。
静态图像分析
(1)几何参数:
质心坐标,面积,周长
纤维:长,直径,卷曲度
(2)当量几何参数:
球形:等效球体积,等面积圆直径,等周长圆直径
矩形:长径,短径
椭圆:长轴,短轴
轮廓:最大FERET径,最小FERET径,平均FERET径
赛分:赛分经
(3)外接几何参数:
圆形:每个颗粒的外接圆直径;
矩形:长、宽
凸形:周长、面积
(4)光密度参数:
红、绿、蓝、灰度分布;
平均密度
(5)形态学参数:
长宽比,延伸度,
圆度,形状因子,
凸度,实度
相似度,特征粒型相似度
卷曲度(纤维)
(6)统计分析参数
常用系数:平均值(算数平均,面积平均,体积平均)、最小值、最大值
离散系数:全距/极差系数、平均差系数、方差系数、标准差系数,相对标准偏差RSD。常用的是标准差系数
分布系数:数量分布Dx,众数
表面积分布D[a,x],众数
体积分布D[v,x],众数
(7)分级方法:
线形分布,对数分布,自定义分布。
(8)分布图表:
频率分布,百分比分布,累计分布(向上累计,向下累计),3D组合分布
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